仪器的维护和校准是紧密联系的，维护程序和校准程序可以规定在同一篇操作规程中。一般情况，仪器进行预防性维护后，可能需要再校准或其他性能测试。例如HPLC 更换紫外灯后，应进行性灯能量测试和波长准确度和重现性测试。当仪器经历严重维修后，应根据对仪器功能的影响程度，可能需要校准或再验证，以确认其性能满足使用的要求。
仪器的维护活动应该被记录在仪器维护日志中。对于比较复杂的仪器可以设计专用的维护表格，维护表格可以逐项列出需要检查和更换的项目，记录维护结果，维护日期，执行人和复核人签章。

仪器仪表的维护步骤有：
 一、仪器仪表外表擦拭步骤：
1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭仪器外表，以擦拭其灰尘或油污等，小心注意其仪器外表勿受伤。
 2.再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面。二、仪器仪表镜面擦拭步骤：
1.先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。
 2.再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。
 3.镜面擦拭可区分成校正玻璃片及镜头内透镜组，由于灰尘粒子会造成成像的黑点，镜面擦拭至为重要，装置后需重新借着影像观察擦拭结果。
 三、仪器仪表花岗岩表面擦拭步骤：
 1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭花岗岩表面，以擦拭其灰尘或测量后机件遗留的油污等。
2.再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭花岗岩外表面，酒精具挥发性会自然蒸发。
 3.必要时，可使用花岗岩专用维护油再擦拭。
 四、仪器传动部分：分干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分。
 干磨擦部分维护步骤：
1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。
 2.也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。
 3.必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。
 润滑部分维护步骤：
 1.先用细棉布将灰尘擦拭干净。
 2.润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入。

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